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Core-Facility > Bio-MEMS > Equipment
 
 
스핀코터 기기명(영문) Spinner system
기기명(국문) 스핀코터
기기모델 Delta 50 T2/150
제작사 MicroTec
설치호실 PBC 460호
운영담당자 조경호 / 279-2773
마스크 얼라이너 기기명(영문) Mask aligner
기기명(국문) 마스크 얼라이너
기기모델 CA-40TS
제작사 (주)신우엠에스티
설치호실 PBC 460호
운영담당자 조경호 / 279-2773
미세패턴 구조물 제작기 기기명(영문) Laser micro machining
기기명(국문) 미세패턴 구조물 제작기
기기모델 IX-100 193 nm Excimer laser for micro machining
제작사 JP Sercel Associates, Inc.
설치호실 PBC 460호
운영담당자 조경호 / 279-2773
웨이퍼 본더 기기명(영문) Wafer bonder
기기명(국문) 웨이퍼 본더
기기모델 TPS-1000M-AF
제작사 BNP-Science
설치호실 PBC 460호
운영담당자 조경호 / 279-2773
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