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Core-Facility > Bio-MEMS > Introduction
 
 


 BioMEMS facility에서 보유하고 있는 MEMS(Micro-electronic Mechanical System) 기술을 이용하여 Glass chip, PDMS chip 제작과 각 종 substrate의 spin coating 및 micro pattern 가공 등을 서비스로 제공하고 있습니다. 본 연구실에서 관리하고 있는 Clean room은 청정도는 1000Class이며, 온도 23(±2) °C, 습도 50(± 5%)의 yellow room 환경으로 Photolithography와 Laser micro machining을 이용한 chip제작이 가능합니다.

 BioMEMS facility held by the MEMS (Micro-electronic Mechanical System) technology, the Glass chip, PDMS chip fabrication and each kind of substrate, such as spin coating and micro pattern processing is provided as a service. Clean room in this laboratory, which is managed and 1000Class and the cleanliness and temperature of 23 (± 2) ° C, humidity 50 (± 5%) of the yellow room environment using Photolithography and Laser micro machining chip production is possible.



 
책임교수 한종훈     이 름 : 한종훈
  연락처 : 054-279-2118
  이메일 : hahn@postech.ac.kr
담당자     이 름 : 조경호
  연락처 : 010-7556-9779
  이메일 : jkh20051224@gmail.com


 


 주로 Glass와 Si wafer를 사용하는 Chip과 Master를 제작 가능하며 Emulsion Mask와 Cr Mask 제작이 가능하므로 특수 목적의 chip을 디자인하여 가공할 수 있습니다. 또한 Glass-Glass, Si wafer-Si wafer, Glass-Si wafer를 서로 bonding 할 수 있는 서비스를 제공합니다. 보유기기는 Laser micro machining(Excimer laser ArF 193nm), Wafer bonder, Spinner system, Mask aligner가 있습니다.

 Chip and Master which are made of glass and Si wafer can be made and Emulsion Mask and Cr Mask can be produced, so by designing a special-purpose chip can be processed.The Glass-Glass, Si wafer-Si wafer, Glass-Si wafer bonding with each other to provide services. Equipment holdings are Laser micro machining(Excimer laser ArF 193nm), Wafer bonder, Spinner system, and Mask aligner.



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