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보유장비

보유장비

Bio-mems Delta 80 T2/150

공동활용장비

Delta 80 T2/150
명칭 Spinner system 모델명 Delta 80 T2/150
사용용도 고분자 유기 반도체 물질 도포 제작사 SUSS Micro Tec
장비상태 장비담당자 안재훈
설치장소 생명공학연구센터 460호 BioMEMS 청정실

사용제한

활용범위 Wafer 또는 기판에 수동 또는 반자동 방식으로 감광물질을 spin coating하여 원하는 높이의 얇은 박막
직접이용여부 직접이용, 서비스 시료준비 4 inch wafer

장비사용안내 및 설명

사용료 80,000원 (SU-8), 100,000원 (AZ5213E) ※ 사용료는 (사용단위 x 단가) + (시료비용 x 시료수) + 제반비용 + 기타비용이며 할인과 금액 조정이 있을 수 있습니다. ※ 실제 사용료는 접수 후 내부 심의를 거쳐서 확정됩니다.
사용방법
구성 및 기능 Spin coating system (Max 7,000 rpm), 4 inch wafer and small pieces chuck
장비설명 Wafer 또는 기판에 수동 또는 반자동 방식으로 감광물질을 spin coating하여 원하는 높이의 얇은 박막 형성
활용분야 Silicon wafer 또는 기판에 감광제의 film 형성