보유장비
Bio-mems Delta 80 T2/150
공동활용장비
| 명칭 | Spinner system | 모델명 | Delta 80 T2/150 |
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| 사용용도 | 고분자 유기 반도체 물질 도포 | 제작사 | SUSS Micro Tec |
| 장비담당자 | 안재훈 | 장비담당자 전화번호 | |
| 장비담당자 이메일 | 설치장소 | 생명공학연구센터 460호 BioMEMS 청정실 |
사용제한
| 활용범위 | Wafer 또는 기판에 수동 또는 반자동 방식으로 감광물질을 spin coating하여 원하는 높이의 얇은 박막 | ||
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| 직접이용여부 | 직접이용, 서비스 | 시료준비 | 4 inch wafer |
장비사용안내 및 설명
| 사용료 | 80,000원 (SU-8), 100,000원 (AZ5213E) ※ 사용료는 (사용단위 x 단가) + (시료비용 x 시료수) + 제반비용 + 기타비용이며 할인과 금액 조정이 있을 수 있습니다. ※ 실제 사용료는 접수 후 내부 심의를 거쳐서 확정됩니다. | |
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| 사용방법 | ||
| 구성 및 기능 | Spin coating system (Max 7,000 rpm), 4 inch wafer and small pieces chuck | |
| 장비설명 | Wafer 또는 기판에 수동 또는 반자동 방식으로 감광물질을 spin coating하여 원하는 높이의 얇은 박막 형성 | |
| 활용분야 | Silicon wafer 또는 기판에 감광제의 film 형성 | |
