POSTECH Biotech Center
where new possibilities begin

보유장비

보유장비

Bio-mems LPX 200i

공동활용장비

LPX 200i
명칭 Excimer Laser Micromaching System 모델명 LPX 200i
사용용도 Hole drilling, etching, sufrace ablation, etc. 제작사 (주)큐엠씨
장비상태 장비담당자 안재훈
설치장소 생명공학연구센터 460호 BioMEMS 청정실

사용제한

활용범위 Sodalime 마이크로패턴 가공, Pyrex 마이크로패턴 가공
직접이용여부 직접이용, 서비스 시료준비

장비사용안내 및 설명

사용료
사용방법
구성 및 기능 LPX 200i Excimer laser (Arf 193 nm), JPSA IX-150 Chip Aligner System
장비설명 Wafer 또는 기판에 Excimer laser (ArF 193 nm) 빔을 조사하여 가공
활용분야 Wafer 또는 기판의 마이크로패턴 가공 및 절단