보유장비
Bio-mems LPX 200i
공동활용장비
| 명칭 | Excimer Laser Micromaching System | 모델명 | LPX 200i |
|---|---|---|---|
| 사용용도 | Hole drilling, etching, sufrace ablation, etc. | 제작사 | (주)큐엠씨 |
| 장비담당자 | 안재훈 | 장비담당자 전화번호 | |
| 장비담당자 이메일 | 설치장소 | 생명공학연구센터 460호 BioMEMS 청정실 |
사용제한
| 활용범위 | Sodalime 마이크로패턴 가공, Pyrex 마이크로패턴 가공 | ||
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| 직접이용여부 | 직접이용, 서비스 | 시료준비 | |
장비사용안내 및 설명
| 사용료 | ||
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| 사용방법 | ||
| 구성 및 기능 | LPX 200i Excimer laser (Arf 193 nm), JPSA IX-150 Chip Aligner System | |
| 장비설명 | Wafer 또는 기판에 Excimer laser (ArF 193 nm) 빔을 조사하여 가공 | |
| 활용분야 | Wafer 또는 기판의 마이크로패턴 가공 및 절단 | |
